氦质谱检漏仪是根据质谱学原理,用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。质谱室里的灯丝发射出来的电子,在室内来回地振荡,并与室内气体和经漏孔进人室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子,这些氦离子在加速电场作用下进人磁场,由于洛伦兹力作用产生偏转,形成圆弧形轨道,改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。喷氦法、吸氦法是氦质谱检漏仪在电阻炉检漏中常用的两种方法。氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术。苏州客制化氦质谱检漏仪费用
氦检仪的捡漏方法有哪些?背压法(压氦法)真空模式。工件先在压氦罐中打入高压氦气,迫使氦气进入泄漏工件,再放入检漏罐中检测是否有氦气漏出。可根据工件大小定制罐体大小。可检测工件的整体漏点。检测精度较高。适用行业:电子元器件,电子封装等。氦质谱检漏背压法优点:检测灵敏度高;可以进行批量化检测;一般小型电子器件宜采用这种检漏方法。首先将仪器调整好,再将器件放入加压罐内压入氦气,氦气进入有漏孔的器件内部,无漏孔的器件只是表面吸咐氦气。器件加压压力和时间根据GB2423,2328文件而定,器件从加压罐中取出后将表面吸咐的氦气吹掉再放入检漏夹具中抽空,待真空抽至设定值后自动将夹具连至仪器的测量系统。这时压入存在漏孔器件内部的氦气泄漏出来被检测,其漏率在漏率表上显示出来。一般压氦法检漏时采用排除法。在夹具中放一定数量的器件,这一批的总漏率没超过报废预定值,说明这一批合格;总漏率超过报废预定值可以取出一半,剩下的一半继续检漏,这一半合格说明有漏的器件在取出的那一半中,依此检漏直至检出有漏孔的器件。苏州客制化氦质谱检漏仪费用氦质谱检漏仪的关键部件均为进口,性能稳定可靠。
氦质谱检漏仪的检漏方式通常有两种,一种为常规检漏,另一种为逆扩散检漏。逆扩散检漏是把被检件接在分子泵出气口一端,漏入的氦气由分子泵出气口逆着泵的排气方向进入安装在泵的进气口端的质谱管内而被检测。这一检漏方式是基于分子泵对不同质量的气体具有不同压缩比(气体在分子泵出气口压强与进气口压强之比)即利用不同气体的逆扩散程度不同程度而设计的。氦质谱检漏仪是根据被检工件的不同它所使用的检漏方法也是不同的。对产品检漏前首先要对工件的结构和制造工业有所了解,了解有哪些漏源,才能快,准,狠的完成检漏。
氦质谱检漏仪是180°磁偏转型的质谱分析计,其基本原理是根据离子在磁场中运动时,不同质荷比的离子具有不同的偏转半径来实现不同种类离子的分离。检漏仪主要由质谱室、真空系统及电气控制部分组成。检漏工作时先打开抽空阀前级泵对检漏接口抽真空,当真空度P1优于200Pa时,打开入口阀1、2,关闭抽空阀,氦气将逆着分子泵的抽气方向进入质谱室中被检测出来,此时检漏仪的可检漏率为10-10Pa·m3/s。前级泵继续对检漏接口抽真空,当P1降至20Pa时,入口阀2关闭,入口阀3打开,分子泵的高抽速用于抽空试件,检漏仪的反应时间缩短,此时检漏仪的可检漏率为10-12Pa·m3/s。氦检仪的型号较多,但基本结构大同小异。
在使用氦检仪时要如何保养?①如果仪器不是每天都使用,建议每周启动并检查一次,以保持仪器的高真空系统处于真空状态,在后期使用过程中可以缩短仪器的启动时间。②仪器部件(如离子源)拆卸后,安装过程中应避免在安装现场发生泄漏,仪器可用于泄漏检测。③及时对泄漏处(如放气阀等)进行自检。)可能出现在仪器上,并在发现泄漏点后及时移除、清洁或紧固,以免在泄漏检测过程中干扰泄漏检测。④氦检仪维护定期维护油泵。(散热口粉尘处理及泵油的检查和更换)⑤严禁在氦检仪上,尤其是进气口处掉落或喷洒任何异物。由于氦检仪是一种高精度仪器,其储存和使用环境应保持清洁卫生。只有经过培训或合格的设备维护工程师才能使用该仪器。⑥使用时,请注意仪器的操作。一旦出现大振动、高噪音等状况时,仪器在操作过程中不能移动。涡轮分子泵正在高速运转。如果泄漏检测器移动,涡轮分子泵中的叶片将很容易与转子的圆筒碰撞。立即切断电源并排除故障,否则会对氦检仪造成不良影响。氦质谱检漏仪的检漏方式通常有两种,一种为常规检漏,另一种为逆扩散检漏。杭州小型氦质谱检漏仪多少钱一台
氦检仪同时拥有两种检漏模式,真空模式及正压模式,可根据客户不同需求,选择不同的检漏方法。苏州客制化氦质谱检漏仪费用
氦检仪常用的几种检漏方法有:氦质谱检漏方法较多,根据被检工件的测量目的可分为两种类型,一种是漏点型,另一种是漏率型;在实际检验过程中,应根据检验目的选择较合理的方法,并根据被检件的具体情况灵活运用各种检漏方法。测定漏点型氦质谱检漏方法。确定漏点型既是确定要检部件的具体漏点或漏孔的位置,在大部件或大型部件中较为常见,如卫星、导弹弹体、弹头、输气管道、气罐、油罐、锅炉等。喷氦法氦质谱检漏方法。喷氦法又叫喷吹法,较常用、较方便的检漏方法。一般用于检测体积相对较小的部件,将被检器件和仪器连通,在抽好真空后,在被检器件可能存在漏孔的地方(如密封接头,焊缝等)用喷头喷氦。苏州客制化氦质谱检漏仪费用
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