氦检仪的基本原理是采集被检件中的气体将其电离,根据不同种类气体离子质荷比不同的特点,利用磁偏转分离原理将其区分开来。仪器只对示漏气体氦气有相应信号,而对其他气体没有反应,属于唯1性氦检仪器。检漏过程中,一旦出现信号,就说明有氦气通过漏孔进入被检件,从而指示出漏孔的位置与大小。而之所以选择氦气作为示漏气体,主要是因为氦质量轻,易于穿过漏孔,扩散快,对分析设备制造的要求相对简单;同时氦气在空气中含量少,本底压力小,又为惰性气体,不易发生反应等等,都为提高仪器灵敏度创造了条件。氦检仪检漏口压强可高达数百帕左右,对检测大系统和有大漏的工件很有益。上海全自动氦质谱检漏仪注意事项
氦检仪怎么选,这取决于客户的需求:应用类型:(例如:生产,维护等)-干式/传统的油泵?性能:(进入检漏模式所需要的时间,灵敏度,响应时间,恢复时间,初抽的能力)。重量以及大小。氦氦检仪的性能衡量,主要是通过以下参数:初抽的能力:(m3/h),检测允许的较大进气口压力:(mbar),进入检测模式所需要的时间:(s),氦抽速:(l/s))灵敏度,较低可测的氦信号:(mbar.l/s),响应时间:(s),恢复时间:(s),初抽能力:将决定进入检测模式的时间)将决定是否只使用氦检仪进行检测就可以(是否需要辅助泵)。检测允许的较大进气口压力:〉将决定进入检测模式所需要的时间。进入检测模式所需要的时间:是由初抽能力和检测允许的较大压力共同决定的。其他可能会影响检测时间的参数:腔体的脱气以及非常大的泄漏。上海全自动氦质谱检漏仪注意事项氦质谱检漏仪改变了常规型仪器的结构布局。
氦质谱检漏仪的灵敏度,通常指仪器的可检漏率。氦质谱检漏仪主要技术指标:1.可检漏率:5×10-12Pa·m3/s;2.漏率显示范围:1×10-3—1×10-12Pa·m3/s;3.启动时间:≤5min;4.响应时间:≤1s;5.检漏口的压力:1500Pa;6.电源要求:220v,50Hz,单相,10A;7.工作环境:5-35℃;8.相对湿度:≤80%;9.外形尺寸:550(w)×400(D)×780(H);10.重量:64kg。使用环境:环境温度:5~35℃;相对湿度:<80%;供电电压:单相交流220V±10%,50Hz工作电流:10A。
氦检仪应用领域:工业:真空炉、镀膜系统、压力容器、超高真空工程。高能物理:加速器、束线、同步辐射光源。科研领域:空间模拟系统、试验装置、微电子、表面分析系统。半导体及电子:工艺设备、气路、气路传输设备、电子元器件、封装。汽车制冷:蒸发器、空调、管路。核工业:核电阀门、核容器。航空航天:空间模拟器、航天器、管路。电厂:管道、蒸汽发生器、热交换器、冷凝器。氦检仪是对密封容器的泄漏进行快速定位和定量测量的仪器。氦质谱检漏方法与气泡识别法、压强衰减法和卤素检漏等方法相比,具有检测灵敏度高、速度快和适用范围宽,此外氦检仪选择无毒、无破坏性、质量轻的惰性气体氦作为探索气体,所以安全可靠。氦质谱检漏仪被普遍应用于压力容器、航空航天、原子能、发电厂、制冷工业等领域。
氦质谱检漏仪是根据质谱仪学原理,用氦气作为搜索气体制成的气密性检测仪器。氦质谱检漏仪电源电压220V频率50HZ额定功率2000W。仪器应安装在符合仪器使用的环境要求的场所,特别是仪器的电源插座,应符合要求,要有良好的地线,左右要留有30CM的通风间距。放置好氦质谱检漏仪,以避免仪器有倾斜或倾倒的危险。氦质谱检漏仪的底部有安装孔,可以将其固定在桌子或支架上。在仪器运行前要确保真空泵中的机械泵油是否足够,机械泵油必须用特定的针对机械泵型号的油。氦检仪自动化程度高;宁波便携式氦质谱检漏仪注意事项
氦检仪喷氦法检测灵敏度高,可精确定位。上海全自动氦质谱检漏仪注意事项
氦检仪噪声是哪儿来的?高灵敏度氦检仪的噪声来源大体上可以分为两种,一个是离子流接收放大机输出电路的噪声,另一个就是本底噪声。实际上,目前通过对电子线路的改进,仪器中离子流接收放大及输出电路引起的噪声已经降到很低的一个程度,因此已经不是限制设备灵敏度的主要因素,如果特殊情况下仍然是限制灵敏度的主要因素的话,可以通过放大信号的办法来提高信噪比来改善灵敏度。而本底噪声则是由本底峰的不稳定造成,与本底的大小以及电磁场参数的稳定度有关,具体的包括:1、离子源发射电子流的不稳定性,加速电压、分析器电磁参数的不稳定性;2、氦气在真空系统内的吸附和再放出(如真空油脂、人造橡胶、有机绝缘材料都可以吸附和再放出氦气),电离真空计特别是磁放电真空计对氦气的记忆效应(被污染的情况下更为严重);3、抽气系统中氦气的反扩散与对氦气抽速的不稳定性;4、氦检仪本身漏气和氦气的渗透;5、残余气体分子对氦离子的散射等等。这些因素对本底噪声及灵敏度的影响都很大。上海全自动氦质谱检漏仪注意事项
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