氦质谱检漏仪的维护方法及常见故障的处理:一、机械维护,检查泵的油量,如果低于低标线,则加入泵油;如果变黑或浑浊,则更换泵。使用方法见机械泵说明书。二、清洗,泄漏探测器没有氦进入,但有一定的泄漏率指示,长期存在。这主要是由于检漏口、波纹管、密封圈等被污染后吸附的氦气,在检漏时又被释放,造成较大的底部。为防止油污、粉尘和杂物进入氦质谱检漏仪,在氦质谱检漏仪下方设置过滤器,将其拆下,用酒精浸泡清洗。检查泄漏,用棉布擦拭波纹管。三、以下是常见的故障现象、原因及解决方法。断电:1.电源线连接不当;2、保险管熔断。3、重新接通电源。4.更换相同规格的保险管。氦检仪现已普遍应用于半导体设备检漏。无锡无损氦质谱检漏仪多少钱
氦检仪有漏率灵敏度参数,它是仪器在出厂时经过校准的在较佳条件下所能实现的仪器灵敏度,但平常实际使用时其灵敏度是低于该参数的,称之为检漏灵敏度。然后在具体检漏过程中,氦检仪的检漏方法也较多,有喷吹法、氦罩法、检漏盒法、充压法、吸嘴法、累积检漏法、背压法、选择性抽气法、逆流氦检漏法等众多形式,可结合实际情况灵活运用。如较简单常用的喷吹法,与卤素氦检仪的真空法类似,将被检件抽真空,调整好氦检仪并与被检件连通,随后用喷头在可疑处喷吹氦气,如果存在漏洞,喷吹一定时间后,氦检仪即可发出信号。浙江无损氦质谱检漏仪大概多少钱氦质谱检漏仪是根据质谱学原理,用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。
在使用氦检仪时要如何保养?①如果仪器不是每天都使用,建议每周启动并检查一次,以保持仪器的高真空系统处于真空状态,在后期使用过程中可以缩短仪器的启动时间。②仪器部件(如离子源)拆卸后,安装过程中应避免在安装现场发生泄漏,仪器可用于泄漏检测。③及时对泄漏处(如放气阀等)进行自检。)可能出现在仪器上,并在发现泄漏点后及时移除、清洁或紧固,以免在泄漏检测过程中干扰泄漏检测。④氦检仪维护定期维护油泵。(散热口粉尘处理及泵油的检查和更换)⑤严禁在氦检仪上,尤其是进气口处掉落或喷洒任何异物。由于氦检仪是一种高精度仪器,其储存和使用环境应保持清洁卫生。只有经过培训或合格的设备维护工程师才能使用该仪器。⑥使用时,请注意仪器的操作。一旦出现大振动、高噪音等状况时,仪器在操作过程中不能移动。涡轮分子泵正在高速运转。如果泄漏检测器移动,涡轮分子泵中的叶片将很容易与转子的圆筒碰撞。立即切断电源并排除故障,否则会对氦检仪造成不良影响。
如何正确选择氦检仪?(1)仪器的功能是否能满足检漏的要求,如有些仪器没有逆流检漏功能,就不合适正压法检漏:有些仪器没有报废漏率的设置功能,就不宜作为批量产品筛选检漏用;流水线上要求一定的检漏速度,因此应选择有双工位的氦检仪。(2)仪器的灵敏度是否能满足检漏的要求。国内外生产的不同类型的氦检仪的灵敏度是不一样的,如果检漏要求的灵敏度较高,就要认真选择。(3)被检件如果害怕油的污染,被应选择无油真空系统的氦检仪。(4)被检件容积如果较大,必须选用预抽泵抽速答的氦检仪,否则要另配预抽泵就比较麻烦。(5)如果被检对象不固定,体积时大时小,灵敏度要求时高时低,就要选择功能较全,灵敏度较高,检漏范围宽的氦检仪。(6)如果检漏地点不固定,需要经常搬运仪器时,就要选择小型便携式仪器。(7)在满足检漏基本要求的基础上,还要综合考虑仪器的价格是否低、操作是否建议、维修是够方便等方面的问题。氦质谱检漏仪是以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。
氦检仪在使用过程中需特别注意以下几点:①使用的电源电压要在额定的电压范围之内,电压过低仪器启动困难,且性能不稳定,电压过高会烧坏电源,严重时还会烧毁母板的电路板和分子泵,应连接稳压电源(UPS)。②仪器在运行过程中不能移动。涡轮分子泵处于高速运转中,若搬动氦检仪,容易使分子泵内的叶片与转子的筒体相碰撞。③氦检仪应按照说明书的要求定期进行保养,保养的项目有更换机械泵油、更换过滤网、更换过滤器。④氦检仪在运行了2000h后应对前级泵进行维修和保养,运行7000h分子泵进行维护和保养。氦检仪用于调节阀的气路管道进行检漏。上海无损氦质谱检漏仪生产厂家
氦检仪紧凑的设计适合串列生产和持续工作。无锡无损氦质谱检漏仪多少钱
氦检仪噪声是哪儿来的?高灵敏度氦检仪的噪声来源大体上可以分为两种,一个是离子流接收放大机输出电路的噪声,另一个就是本底噪声。实际上,目前通过对电子线路的改进,仪器中离子流接收放大及输出电路引起的噪声已经降到很低的一个程度,因此已经不是限制设备灵敏度的主要因素,如果特殊情况下仍然是限制灵敏度的主要因素的话,可以通过放大信号的办法来提高信噪比来改善灵敏度。而本底噪声则是由本底峰的不稳定造成,与本底的大小以及电磁场参数的稳定度有关,具体的包括:1、离子源发射电子流的不稳定性,加速电压、分析器电磁参数的不稳定性;2、氦气在真空系统内的吸附和再放出(如真空油脂、人造橡胶、有机绝缘材料都可以吸附和再放出氦气),电离真空计特别是磁放电真空计对氦气的记忆效应(被污染的情况下更为严重);3、抽气系统中氦气的反扩散与对氦气抽速的不稳定性;4、氦检仪本身漏气和氦气的渗透;5、残余气体分子对氦离子的散射等等。这些因素对本底噪声及灵敏度的影响都很大。无锡无损氦质谱检漏仪多少钱
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