南京分体式氦质谱检漏仪单位 上海睿德励柯仪器仪表供应

氦质谱检漏仪用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪（调整到只对氦气反应的工作状态）的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。关键部件均为进口，性能稳定可靠。不但灵敏度高，而且操作方便，能够双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自动量程切换。氦检仪噪声是哪儿来的？南京分体式氦质谱检漏仪单位

选择氦质谱检漏仪时主要考虑以下问题：1、仪器的功能能满足检漏的要求。如有些仪器没有逆流检漏功能，就不适合检漏；有些仪器没有报废漏率的设置功能，不宜作为批量产品筛选检漏用；流水线上要求一定的检漏速度，此时应选择有双工位的检漏仪。2、仪器的灵敏度能满足检漏的要求。国内外生产的不同类型的氦质谱检漏仪的灵敏度是不一样的，如果检漏要求的灵敏度较高，就要认真选择。3、被检件如果害怕油的污染，就应选择无油真空系统的检漏仪。4、被检件容积如果较大，必须选用抽泵抽速大的检漏仪，否则就要外加预抽泵。南京分体式氦质谱检漏仪单位氦检仪怎么选择适合的检漏方法？

氦检仪现已普遍应用于半导体设备检漏。半导体设备及材料需要检漏原因：1、半导体设备要求高真空，比如磁控溅射台、电子束蒸发台、ICP、PECVD等设备。出现泄漏就会导致高真空达不到或需要大量的时间，耗时耗力；2、在高真空环境洁净度高、水蒸气很少。一旦出现泄漏周围环境中的灰尘和悬浮颗粒或尘埃就会对晶元造成污染，对半导体的特性改变并破坏其性能，因此在半导体器件生产过程中必须进行氦质谱检漏；3、一些半导体设备要用到有毒或有腐蚀性的特殊气体，经过氦质谱检漏后，在低漏率真空条件下，这些气体不易外泄，设备能及时抽走未反应气体和气态反应产物，保障工作人员安全和大气环境。4、芯片封装，一旦出现泄漏，芯片就会失效。综上所述，氦检仪在半导体行业起着至关重要的作用。

氦质谱检漏仪原理：氦质谱检漏仪是基于质谱法原理，以氦气作为检漏的仪器。质谱仪由离子源、分析仪、收集器、冷阴极电离计、气体萃取系统和电气部分组成。质谱法室中灯丝发射的电子在室内来回振荡，与室内气体碰撞，氦气泄漏进入室内，电离成正离子，正离子在加速电场的作用下进入人体磁场，当洛伦兹力效应偏转时，电弧形成，加速电压的变化使不同质量的离子通过磁场和接收槽到达接收极而被探测到。氦气喷射法和氦气吸收法是电阻炉氦质谱检漏仪常用的两种检漏方法。氦质谱检漏仪正朝着高灵敏度、便携式、自动化、宽量程、无油系统等先进方向发展。氦检仪由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。

氦质谱检漏仪在使用时需注意哪些问题？1、氦质谱检漏仪实际的检漏灵敏度比理论计算值低，一是由于所喷出的氦气流是散开的，故掺有一定数量的空气，使氦气的浓度有所降低。二是喷出的气流的方向不可能完全对准漏孔的方向，此外、在凹缺处所存在的空气会使得进入漏孔的氦气浓度降低。2、检漏次序：从被检件物体的上方至下方，由近处向远离检漏仪处逐点进行喷氦检查。3、检出的大漏孔要经修补后再去找小漏孔。4、当存在两个相距很近的可疑的漏孔点时，应先把一个点盖住，再对另一点进行喷氦。5、当喷在某一点时，如果，检漏仪上的显示有变化，其上升速度很慢且显示值不稳定表示邻近其它地方有很大漏孔。氦质谱检漏仪是质谱仪器中的一种。杭州分体式氦质谱检漏仪哪个牌子好

氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术。南京分体式氦质谱检漏仪单位

氦质谱检漏仪的注意事项：1.设备应在施工工作完成后进行本测试，测试完成后不得进行焊缝的修磨等。2.若设备被浸湿或有残余的液体都会影响毛细管的泄漏而影响测试结果的真实性。3.因氦比空气轻，因此要注意检漏的顺序，检查顺序应依照由下而上，由近而远的顺序进行。4.检漏过程中，如发现大量氦气进人质谱检漏仪，应立即移去吸口，防止因仪器长时间消除不掉氦影响而延误测试。氦质谱检漏仪应用领域：学校科研单位、真空制造、真空镀膜、航空航天、核工业、电力、电子元器件、汽车及制冷、低温容器、阀门、仪器仪表、聚酯等行业。南京分体式氦质谱检漏仪单位

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